センサは，上図のような構造であり，ばね要素には，平行板ばね，ダンパーにはムービングコイルの磁気減衰を用い，コイルは，アクチュエータを兼ねている．また，質量と測定対象との相対変位を測る変位センサとしてひずみゲージを用い，変位信号とそれを微分した速度信号を，コイルにフィードバックする回路を有する． ムービングコイルが磁石によって発生する磁界の中を振幅することにより得られる電気信号を相対速度信号として検出し，積分回路により相対変位信号，微分回路により相対加速度信号にそれぞれ変換し，各信号を増幅してアクチュエータにフィードバックする． 　変位信号をコイルへフィードバックすることによりセンサのばね定数を，また速度信号をフィードバックすることによりセンサのダンピング定数を等価的に大きくも小さくも操作する事が可能となる． 　従来型のセンサにおいてセンサの固有振動数を下げるとしたなら， センサの質量要素を大きくするか，ばね要素を小さくするために，大型化もしくは耐衝撃性の低下が生じていたことを考えると，サーボセンサがいかに有用かがわかる．

　

---